不等間隔位相シフト法を用いたスペックル干渉による物体のナノ変位測定

抄録

粗面物体上の１点の変位をスペックル干渉法を用いてナノメートルの感度で測定した．干渉縞の光強度は物体の変位に伴って正弦波状に変化する．ある４点の光強度の位相差はそれぞれに一定であるが，等間隔ではないので，不等間隔位相シフト法で解析する．その結果，物体の変位はナノメートルの感度で測定できた．