アルミナ砥粒を用いたELID研削による微細金型材の表面改質加工

抄録

近年盛んに用いられている微細金型において生じている転写不良などの問題は濡れ性を向上させることで解決することが明らかとなっている。また、アルミナ砥粒を用いてELID研削を施すことによって濡れ性が向上することがわかっている。これは砥粒内の非晶質部分が影響していると考えられている。そこで、本研究では非晶質割合の異なるアルミナ砥粒砥石を用いてELID研削を施し、その表面の濡れ性の変化を調べた。