新概念立軸超平滑研削法の研削特性に及ぼす砥石粒度の影響

安井 平司; 松田 清; 坂本 竜司郎

doi:10.11522/pscjspe.2008A.0.501.0

2008年度精密工学会秋季大会

セッションID: G19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008A.0.501.0

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主催: 社団法人精密工学会

新概念立軸超平滑研削法の研削特性に及ぼす砥石粒度の影響

安井平司, *松田清, 坂本竜司郎

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キーワード: 超平滑研削法, 立軸研削, 砥粒粒度

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抄録

先の研究で，新しく開発した超平滑研削法を立軸研削盤に適用し，粒度#140のダイヤモンド砥石を用いて，各種材料で50nm(Rz)以下の超平滑仕上面が得られることを示した．本報告では，引き続き，研削特性に及ぼす砥石粒度の影響を検討するために，粒度#320のレジンボンドダイヤモンド砥石を用いて，炭化ケイ素セラミックスを超平滑研削加工し，その研削特性を検討した．

責任著者(Corresponding author)

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