リニアマイクロフィーダのピエゾ駆動部構成

抄録

板ばねを芯材として一体構造で構成するマイクロメカニズムとしての直進型マイクロフィーダにおいて、ツイスト型と同様に、バイモルフ型ピエゾアクチュエータを板ばねに構成する位置およびその長さが振動特性に大きく関わる。本報では、フィーダとしてのピエゾ素子の最適位置を明らかにし、その条件を実現する具体的方法を示す。この最適条件はトラックの剛性および振動角に対して影響を受けにくいので、マイクロ化に対して有利であることがわかった。