小型ハイブリッド磁気軸受のスキャナモータへの適用と制御性能

高速高精度位置決め小型モータに適用するゼロパワー制御磁気軸受の開発

抄録

前報で開発したハイブリッド小型磁気軸受を光スキャナ用ガルバノモータに応用した。ゼロパワー制御を適用しつつ、軸位置精度は静止時±0.25μm、モータ動作時±3μmを達成した。この軸受を使用したスキャナを光加工システムに応用する予定である。機械式ベアリングに対して長寿命・メンテナンスフリーのほか、システムでのレーザ位置決め精度を改善でき精密加工の精度向上に寄与できる。