スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性

抄録

TiC薄膜の基盤温度依存性を、微小領域を測定可能な方法をもちいて機械的特性を調査した。TiC薄膜はSi基板上にTiとCの二元蒸着を行い、膜厚を60nmとした。機械的性質の評価方法として、AFM引掻き加工によるマイクロトライボロジーと、ナノインデンテーション法による硬度測定を行い、微小領域での摩耗と硬度の関係を明らかにした。またTEMによる摩耗部の組織観察をし、微小な摩耗の形態を評価した。