電気粘性流体の援用による砥粒挙動制御

マイクロ超音波加工に関する研究

抄録

マイクロ超音波加工法は，硬脆材料の高精度・高能率加工が可能である．本研究で提案している電気粘性流体援用マイクロ超音波加工法では，電場を作用させることで，工具先端に遊離砥粒を集中・保持させている．この加工法では，電場分布を変化させることで，目的に応じた遊離砥粒の挙動制御が可能になると考えられる．本報では，電極の形状や配置を変化させて砥粒挙動の観察を行い，電気粘性流体援用の有用性を検討した．