フェムト秒レーザー誘起衝撃波を利用した金属箔への微細輪郭転写

抄録

水中にてフェムト秒レーザーを集光照射すると物質表面に金属を変形させるに十分な衝撃波が発生する。金属箔にレーザーを複数パルス照射し、生じた衝撃波で箔を金型に押し付けることで、型表面の輪郭を箔に転写することが出来る。型上のμmオーダーのビッカース圧痕をアルミ箔に転写することを試み、本法が可能であることを確認した。さらに照射条件による成形性について調査を行い、より複雑な形状の転写を試みた。