積層ニオブ酸リチウムアクチュエータによる超音波振動子

抄録

ニオブ酸リチウム単結晶アクチュエータは、非鉛で環境にやさしい材料で、高温環境下の使用が可能である上、高い振動速度も期待できる。今回、ニオブ酸リチウムを積層し、従来のセラミック振動子と比べて、ハイパワー化することを試みた。単結晶のカット角を最適化し、機械的に予圧を付与する構造で接着層のない振動子を製作した結果、共振周波数23.5kHzにおいて3.5ミクロンという大振幅を得ることに成功した。