マイクロ塑性加工における結晶異方性の分子動力学シミュレーション

抄録

近年，情報デバイスの小型化が進み，マイクロ塑性加工のニーズが高まっている．しかし，要求精度が微細な領域になればなるほど結晶異方性の影響が出やすくなり，形状精度低下の一因となっている．結晶異方性の発生メカニズムは不明であるため，本研究では分子動力学法を用いた3次元解析によりそれらを明らかにする．特にマイクロ押込み加工に着目し，解析結果と実験結果を比較することで結晶異方性の影響について検証する．