超音波アシスト水熱合成法

門田 洋一; 石河 睦生; 保坂 寛; 森田 剛

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.107.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: B18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.107.0

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主催: 社団法人精密工学会

超音波アシスト水熱合成法

*門田洋一, 石河睦生, 保坂寛, 森田剛

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キーワード: 水熱合成法, 薄膜, PZT, ソノプロセス, 超音波

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抄録

水熱合成法によるPZT薄膜合成は高圧，強アルカリ下であるため合成中の超音波の直接照射は困難であった．本研究では反応容器の蓋と振動子を一体化し材料に耐薬品性の強いハステロイを用いることでこれを実現した．周波数53kHzで振動子を24時間駆動し反応を行った．チタン基板上に成膜されたPZT薄膜を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したところ，非照射の薄膜に比べ粒径の小さな薄膜が成膜されたことを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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