超精密加工機における機上計測機能

自由曲面形状の3次元機上計測

抄録

超精密加工において、ナノ単位の形状精度の実現のために、加工後のワークを工作機械から取り外すことなく機上で形状を計測し、補正加工を行う機上計測が実用化されている。しかし、最近では、より複雑な自由曲面形状に対応した自由度の高い機上計測システムへの要求が高まってきている。本報では、自由曲面形状の全面に対する3次元機上計測を行い、補正加工によるナノ単位の形状精度を実現する機能に関して報告を行う。