超短パルス放電の観察

抄録

放電による微細加工を追及していくためには、単発放電による放電痕径を小さくする必要があるが、これは放電パルス幅と放電電流、放電電圧に依存する。放電の短パルス化を目指すと共に、超短パルス放電を観察し、放電加工への利用を検討した。