MCF研磨液による金属材料の非接触研磨に関する研究 加工特性に及ぼす磁場印加方法の影響

古屋 壮俊; 呉 勇波; 野村 光由; 島田 邦雄; 山本 慶太; 林 偉民

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.407.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: E46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.407.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

MCF研磨液による金属材料の非接触研磨に関する研究

加工特性に及ぼす磁場印加方法の影響

*古屋壮俊, 呉勇波, 野村光由, 島田邦雄, 山本慶太, 林偉民

著者情報

キーワード: MCF研磨液, 研磨

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

本研究では，マイクロ3次元金属表面の超精密研磨技術の開発を目指し，MCF研磨液による非磁性金属材料の非接触研磨を試みている．これまでに実験装置を設計・製作し，表面粗さや材料除去量に及ぼすMCF研磨液の構成や砥粒サイズの影響など基礎研磨特性を実験的に調べた．本報では，この技術の確立を目指して基礎研磨特性に及ぼす磁場印加方法の影響について調べた結果および3次元金属表面の研磨テストの結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）