帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチの製作・組立法

山口 岳彦; 奥津 和俊; 佐藤 海二

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.553.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: G18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.553.0

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主催: 社団法人精密工学会

帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチの製作・組立法

*山口岳彦, 奥津和俊, 佐藤海二

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キーワード: 光スイッチ, MEMS, 薄膜, 静電力, ミラー

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抄録

本報では，提案するMEMS光スイッチの製作・組立法の改良について述べている．本光スイッチは，上下基板間の帯状薄膜ミラーを静電力により変形・移動させる機構を持つ．現状では多入出力光スイッチを実現するに当たり，製作精度の向上とそのばらつきの解消が課題となっている．そこで対策として上部基板と薄膜ミラーの一体化，部品の立体的位置合わせの自動化に取り組み，さらに製作した光スイッチの特性について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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