圧電式加速度センサアレイの開発

抄録

昨今動物の行動を検出できる無線センサが重要となっているが、センサには低消費電力化、小型軽量化が特に重要である。本研究では圧電マイクロ加速度センサアレイとＣＭＯＳトランジスタの集積化センサを開発する。ＭＥＭＳ技術による小型軽量化、閾値電圧を越えているＣＭＯＳトランジスタの数により加速度レベルを評価するという方法による省データ化、また圧電式、待機消費電力の低減による超低消費電力化を目指す。