リエントラント型生産ラインにおける装置メンテナンス計画の最適化

ラグランジュ分解・調整法の適用と特性評価

抄録

半導体製品のライフサイクルは非常に短く、製品の生産リードタイムの短縮が必要である。一方、適切な生産設備の運用のために定期的なメンテナンスも必要となるが、最短のリードタイムで製品を生産しつつ、かつ適切なメンテナンスを行うことは、繰り返し工程を有する半導体生産工程では困難となる。本研究では、メンテナンスと製品のスケジューリングにラグランジュ分解・調整法を適用し、その特性について検討を行う。