硬X線ナノ集光楕円筒面ミラーのための相対角度決定型スティッチング干渉法に基づく表面形状計測法の開発

湯本 博勝; 三村 秀和; 半田 宗一郎; 木村 隆志; 松山 智至; 佐野 泰久; 大橋 治彦; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2009A.0.143.0

2009年度精密工学会秋季大会

セッションID: C03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009A.0.143.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

硬X線ナノ集光楕円筒面ミラーのための相対角度決定型スティッチング干渉法に基づく表面形状計測法の開発

*湯本博勝, 三村秀和, 半田宗一郎, 木村隆志, 松山智至, 佐野泰久, 大橋治彦, 石川哲也, 山内和人

著者情報

*湯本博勝
高輝度光科学研究センター光源・光学系部門光学系グループ
三村秀和
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻
半田宗一郎
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻
木村隆志
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻
松山智至
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻
佐野泰久
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻
大橋治彦
高輝度光科学研究センター光源・光学系部門光学系グループ
石川哲也
理化学研究所播磨研究所
山内和人
大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻

キーワード: 表面形状計測, スティッチング干渉計, X線ミラー, X線光学素子, 非球面ミラー, シンクロトロン放射光

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抄録

表面曲率半径数m～数10mを持つ硬X線集光ミラーの形状計測に対応するために，相対角度決定型のスティッチング干渉法に基づく計測装置の開発を行った．7keVのX線において25nmの回折限界集光径が得られる楕円筒面形状ミラーの表面形状計測を行った結果，ミラー長さ50mmにおいて計測再現性と確からしさPV3nmを実現し，ナノ集光ミラーの必要形状精度と同等の計測が可能となった．

責任著者(Corresponding author)

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