パウダージェットデポジション法の成膜メカニズムに関する研究

抄録

これまで筆者らは，微粒子を高速で基板に吹き付けることにより成膜を行うPJD法を開発した．しかし，PJD法による成膜のメカニズムは十分に解明されていない．そこで新生面の発生が成膜に大きな影響を与えていると考え，本報では粒子の破砕が成膜に与える影響について検討した．