ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第2報）

Siカンチレバー上への先鋭化ダイヤモンド探針の形成

抄録

本研究では，高硬度・耐摩耗性に優れた原子間力顕微鏡（AFM）用のダイヤモンドプローブを開発し，ナノメートルレベルの微細加工と形状計測・表面物性評価機能を同時に備えたシステムの実現を目的としている．本報では，中間層を用いたダイヤモンド膜とSi基板とのウエハレベルでの接合技術を開発し，Siカンチレバー先端に高アスペクト比を有し，かつ先端が鋭利なダイヤモンド探針を形成するための量産技術を確立した．