研磨パッドのブレークインフリーを目指した表面加工とその評価結果

抄録

通常、CMPを行う前には使用する研磨パッドにブレークイン(Break in)と呼ばれる表面の"目立て"を研磨機定盤上で行う必要がある。我々は、ブレークイン後の研磨パッド表面の解析結果から、研磨パッドの表面加工を事前に行うことで、ブレークインを省略もしくは短縮することが出来ることを新たに見出した。本報では、この表面加工に伴うパッド表面形状の変化と研磨特性について調査した結果を報告する。