拡散接合を用いた積層形マイクロリアクタの高強度化

布川 亨; 菊池 篤徳; 土屋 健介; 中尾 政之

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.161.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: B68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.161.0

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主催: 社団法人精密工学会

拡散接合を用いた積層形マイクロリアクタの高強度化

*布川亨, 菊池篤徳, 土屋健介, 中尾政之

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キーワード: 拡散接合, マイクロリアクタ, 接合強度

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抄録

拡散接合を用いて積層されたマイクロリアクタにおいて，層間の熱伝導率はその密着性に依存すると考えられる．そこで本研究は，密着性を接合強度で評価し，本リアクタの高熱伝導率化のために層間の接合強度の向上を目的とする．本稿では，接合試験片の強度と母材強度を定量的に比較し，接合温度と接合強度の関係を調べ，マイクロリアクタの高強度化を検討した．耐食性向上のため材質はSUS316を用いた．

責任著者(Corresponding author)

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