ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析

抄録

ワンショット表面形状測定の一つである局所モデル適合法は，測定対象の試料の高さが局所的に一定であるという仮定のもとで導出された測定法である．本講演では，局所モデル適合法における局所一定性の仮定が成り立たない場合の誤差を理論的に解明すると共に，測定精度を大幅に向上させる改良アルゴリズムを提案する．