高速・精密エアースピンドルのための能動動圧軸受の開発

水本 洋; 田添 洋一; 横内 繁; 薮田 義人; 有井 士郎

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.409.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: F31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.409.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

高速・精密エアースピンドルのための能動動圧軸受の開発

*水本洋, 田添洋一, 横内繁, 薮田義人, 有井士郎

著者情報

キーワード: 空気静圧軸受, 空気動圧軸受, 能動制御, 圧電素子, エアースピンドル

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

複雑な微細形状の高精度加工に用いる小径工具のための高速・高精度エアースピンドルを開発する．通常の空気静圧軸受で支持されたエアースピンドルの先端部に能動制御可能な動圧軸受を組み込み，高速運転時における回転精度の改善をめざす．このハイブリッド軸受システムではスピンドルにかかる負荷は基本的には静圧軸受で支えられ，高速回転時に生じるスピンドル振動が能動動圧軸受により抑制される．開発目標はスピンドル回転数100,000min-1での振動振幅を0.1μmに抑えることである．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）