精密工学会学術講演会講演論文集
2009年度精密工学会春季大会
セッションID: F74
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半導体産業の進展経緯に関する考察(第6報)
半導体産業における単結晶シリコンウエハの進展
*武野 泰彦土肥 俊郎河西 敏雄
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キーワード: 半導体ウェハ
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抄録
Si基板とガラス基板市場の歴史を考察し、今後の基板市場と周辺産業の展望を予測する。
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© 2009 公益社団法人 精密工学会
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