電鋳技術とナノインプリント技術を用いた面領域粗さ標準の複製

抄録

近年では微細領域を観察できる顕微鏡が測定機として用いられ，これらの面領域表面性状測定機の特性を検証するため，面領域粗さ標準の必要性が議論されている．本研究では超精密加工機と電子線描画装置で製作された標準面をマスター標準面として，電鋳技術とナノインプリント技術を用いて複製し、測定標準面を製作した．また，電鋳とナノインプリントの条件の違いによる転写精度の比較検討も行った．