光放射圧制御微粒子工具によるナノ加工の研究

微粒子工具近傍のエネルギー分布解析

抄録

近年，様々な機械製品の高集積化・小型化に伴い，それを満たす微細加工技術が要求されている．本研究では，光放射圧によりマイクロ微粒子を捕捉・制御し，微粒子を位置検出と加工ツールに用いる，ナノメートルオーダで加工可能な新たな加工技術の開発を進めている．本報では、微粒子近傍のエネルギー分布についてFDTD法を用いて解析を行い，その結果について報告する．