超音波振動切削法による微細溝加工

工具材種が加工精度に与える影響

抄録

超音波振動切削装置を使用した微細溝の高精度加工を目的とする．溝を立削りにより加工し，SUS304およびA5056の被削材に対して，溝幅，工具形状・材質を変えて実験を行った．その結果，超々微粒子超硬合金を使用することにより，溝幅1mmの条件に対して，切削長さ5mmで真直度が4μm，切残し量2μmの精度が得られた．また，ヤング率の小さい工具での超音波振動切削の機構について検討した．