精密工学会学術講演会講演論文集
2010年度精密工学会秋季大会
セッションID: J04
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DNA によるナノ電子配線の形成
(第一報)アンカー部分製作
*前田 全啓遠藤 達郎柳田 保子初澤 毅
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抄録
本研究では、DNAの自己組織化を応用した電子回路用ナノ配線構造の形成を提案する。第一歩として、Si基板上の指定位置へDNAナノ構造体を固定するための足場構造(ナノアンカー)を試作した。ナノアンカーはAFMリソグラフィによって直径100nm程度のドットとして作製し、そこに付着末端を持つ短鎖DNAをシランカップリング剤とリンカーを用いて化学的に固定し、顕微鏡により観察した。
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© 2010 公益社団法人 精密工学会
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