多段振動型気体軸受の提案

抄録

本研究では，まず，狭いすき間で振動する軸受面に，外部から気体を吸込んで圧力増加する現象が存在することを見出した．これを多段にして複数回の圧力増加を繰返し，より高圧を発生する新しい軸受として，多段振動気体軸受を提案する．さらに本報では，試作開発した本軸受装置の測定と，軸受隙間内気体の有限要素モデルによる解析により，軸受性能について検討した結果について報告する．