時間分解斜入射干渉計による超音波モータのステータ面の振動解析

抄録

進行波型超音波モータの駆動解析にステータの振動面の解析が必要とされている．ここでは，マイクロメートルオーダの測定精度で光学粗面を測定することが要求されている．本研究では，測定面に対して光を斜めから入射することにより光学粗面でも測定可能な斜入射干渉計に着目した．本研究では，超音波モータの駆動信号と同期させた変調光を用いることで超音波振動する測定物の表面形状計測を行ったので報告する．