SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発

抄録

SEMを用いた微小構造物の三次元形状計測を目的とする。本研究では、SEM を用いた縞解析法における、格子条の影の発生メカニズムを明確にし、この現象を利用することによる新しい高分解能三次元形状計測法を提案する。周期的な格子像を物体表面に投影し、その画像の各点における位相情報を取り出し、物体の三次元形状計測を行う。本報では誤差要因をシミュレーションならびに実験を通して検討している。