水中レーザ微細加工による気泡の発生とその観察

抄録

水中の加工物にレーザ照射するとプラズマの閉じこめや熱ダメージの抑制が期待できる．そこで，水中でシリコンなどの加工物にパルスYAGレーザの第二高調波を照射し，照射点で起こる現象を高速度カメラで観察した．その結果，気泡の発生，成長，表面からの離脱，消滅などを観察することができた．これにより，レーザ照射条件と気泡発生の関係を考察した．