超微細塑性加工と焼鈍を利用した規則的ナノドットアレイの効率的製造法

抄録

本報では，超微細塑性加工と焼鈍を組み合わせたナノドットアレイの作製法を提案するとともに，本プロセスの条件がナノドットアレイの生成状況に及ぼす影響を検証した．本プロセスでは，最初に石英ガラス基板上に金薄膜を形成した．次に，超微細塑性加工によりその金薄膜に格子溝をパターニングした．その後，試験片を焼鈍し金薄膜を自己凝集させた．その結果，直径40 nmの規則的配列の金ナノドットアレイを作製することに成功した．