超精密切削加工によるリングビームシェイピング光学素子の作製

桑野 亮一; 古賀 俊彦; 徳永 剛

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.167.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: B82

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.167.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密切削加工によるリングビームシェイピング光学素子の作製

*桑野亮一, 古賀俊彦, 徳永剛

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キーワード: レーザビームシェイピング, YAGレーザ, リングビーム, 超精密切削加工, 非球面レンズ

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抄録

軸対称の自由曲面形状のレンズを短時間で生成することを目標とし，アクリル樹脂材料を超精密切削加工するだけの屈折型素子の設計と試作を行った．一例にレーザ照射面でリング状の光強度となる中心部が凹で半径方向に凸となる非球面の加工用近赤外レーザのビームシェイピング素子を試作した．作製では，表面粗さRaで9.6nm，透過率は98%以上が得られた．YAGレーザをステンレス薄鋼板に照射し，リング状の加工が可能なことを確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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