マルチワイヤソーにおける工作物エッジ部でのスラリー挙動

抄録

太陽電池用シリコンインゴットは主に遊離砥粒を用いたマルチワイヤソーによってスライシングが行われる．しかし，本加工において現在，加工後のウエハエッジ部にソーマークが生じることが問題となっており，その詳しい原因は明らかとなっていない．そこで，本研究では矩形工作物エッジ部における加工中のスラリー挙動について観察を行い，明らかになった結果について述べる．