超音波振動切削法によるアルミニウム合金の高密度穴あけ時の加工ひずみ改善

抄録

小径穴を多数個穿孔する半導体用アルミニウム合金プレート部品の加工は平面度の公差が厳しく，加工ひずみ発生のため穴あけ後の修正作業が必須となっている．本研究は，加工ひずみと密接な関係にある切削抵抗を低減させるため，超音波振動ドリル加工を適用し振動条件，工具形状，コーティングなどの工具条件や切削条件を検討した．その結果，著しい加工ひずみ改善の効果が得られた．