小不確かさ標準尺測定機の開発

第６報 目盛線検出光学系に起因する誤差の評価

抄録

標準尺測定機において目盛り線検出光学系の非対称な火線に起因する測定誤差を評価した。この曲線状の誤差は火線の曲がりとデフォーカスによって決定される。標準尺測定機の対物レンズ２種類で実験を行ない、特別な光学調整がなされたNAの小さい対物レンズによって、デフォーカス範囲±10µmにおいて曲線状の誤差約 4 nm の結果を得た。