マイクロマニピュレータを用いた砥粒評価方法の提案

抄録

近年，μマニピュレータを用いた微小作業が盛んに行われている．本研究では，1つの作業として，砥粒の形状評価にμマニピュレータを用いることに着目した．画像による砥粒の評価法として，円形度が利用されているが，尖がっている部分を評価することができないため，特異な形状を選別するためには適切ではない．そこで，本研究では，砥粒の適切な形状評価方法を提案し，μマニピュレータを用い，全体像の評価を行った．