超音波振動を利用したハイアスペクトタッチプローブの開発

抄録

本報告は、マクロ領域と呼ばれる通常サイズの領域におけるタッチプローブの高度化に関するものである。近年では加工技術の高度化に伴い多様な形状の加工が可能となってきた一方、深い細溝や細穴の計測が困難となっている。本開発では、マイクロ領域やナノ領域での応用が知られている振動を用いたタッチプローブに着目し、通常のマクロ領域の測定における高いアスペクト比のタッチプローブを開発する。