スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

松本 勇毅; 田丸 雄摩; 清水 浩貴

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.125.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: B25

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.125.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

*松本勇毅, 田丸雄摩, 清水浩貴

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キーワード: スクイーズ膜支持, 圧電素子, リニアスライダ, アクティブ制振

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抄録

これまでに推進機構を備えたスクイーズ膜支持によるリニアスライダを提案した．スクイーズ効果はスライダ間隙に高周波振動を与えることで得られるが，励起によってスライダ自身に振動が生じる．本研究では浮上支持による振動に同期してスライダ上面にもスクイーズ効果を発生させて静圧力の打ち消し作用によるスライダ制振手法を提案する．試行実験の結果スライダの振動振幅が約17%低減し，本手法の有用性が示唆された．

責任著者(Corresponding author)

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