精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: E22
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78パーマロイ材の表面に及ぼすNaCl電解酸化水の影響
*佐藤 運海
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抄録

本研究において,78パーマロイ材の表面に対してNaCl電解酸化水のエッチング性能を明らかにした.その結果,NaCl電解酸化水はHCl溶液と比べエッチング作用が強い.また,NaCl電解酸化水は,78パーマロイ材の構成元素に対して均一にエッチングできる.更に,電解酸化水は78パーマロイ材の表面層の化学組成に悪影響を与えず,酸化皮膜を除去できる.

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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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