３次元MD／FEMハイブリッドモデル

接続部の最適化

抄録

微細加工機構の解析に、有限要素法（FEM)のモデルと組み合わせた三次元分子動力学（MD)モデルを提案した。両方のモデルをなめらかに接続させるためには、接続領域の大きさ，一接点当たりの原子数などを適切に選ぶ必要がある．本稿ではそれらの検討を行った．