光ファイバプローブを用いた微細形状精密計測（キーノートスピーチ）

村上 洋; 甲木 昭雄; 佐島 隆生

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.471.0

抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，微小径の光ファイバプローブ（接触子直径5µm，シャフト径3µm）を用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，開発中の測定システムの概要と性能評価の結果について報告する．

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