光触媒ナノ工具に関する基礎的研究

関野 貴宏; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.485.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: F76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.485.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

光触媒ナノ工具に関する基礎的研究

*関野貴宏, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 微細加工, ナノ工具, 光触媒

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抄録

光触媒酸化作用を利用して，光造形樹脂やフォトレジストポリマなどの高分子材料を対象に微細除去加工を行う加工法を提案する．本加工法において，光触媒作用を持つナノ粒子をナノ工具チップとして利用する．本報ではマイクロ光造形用樹脂を対象とした基礎実験を行い，光学顕微鏡・原子間力顕微鏡による位置同定を通して，TiO2粒子により高分子材料の微細除去加工が可能であるかを検討した．

責任著者(Corresponding author)

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