偏光ビームの多重反射を考慮したレーザ加工形状シミュレーションによる加工効率の検討

抄録

ラジアル偏光ビームを用いた高効率なレーザ加工が提案されているが、加工効率の向上の程度については明確でない。本研究では、偏光ビームの多重反射を考慮したレーザ加工形状シミュレータを使って、ラジアル偏光ビームで高い加工効率が得られる条件について検討を行った。また、その他の偏光ビームとの加工効率の比較を行う。