刃先移動加工法を用いた超精密マイクロ曲面加工

抄録

セラミックスや超硬合金などの高硬度材を加工する際に，工具摩耗が激しくなり，摩耗した工具形状が加工面に転写され，高精度な加工が困難である．そこで，特殊チャンファ付き工具を用い，高精度加工と工具摩耗の抑制を同時に実現できる刃先移動加工法を提案してきた．本報では，刃先移動加工法を曲面加工に拡張し，加工された曲面上に曲線溝の加工を行った．その結果，高精度なマイクロ曲面と曲線溝を創成することが確認できた．