タングステン合金のバニシング加工による表面性状の改善に関する研究

抄録

硬脆材料であるタングステン合金に対する従来の超精密加工は加工コストの高さや加工自由度の低さという問題があり、安価な超精密加工法が求められている。本研究では硬脆材料に対し塑性変形加工であるバニシング加工を行い、圧力と加工速度による表面性状の改善の関係を評価した。超硬合金製バニシング工具によりRa0.036μmの粗さを有するクラックの少ない鏡面を得て、硬脆材料の低コストな超精密加工の可能性を示した。