SU-8の熱収縮を利用した高Q値グラフェン振動子の作製

抄録

本研究では、高Q値グラフェン振動子センサ創製を目的として、SU-8レジストの熱収縮を利用した歪印可グラフェン振動子の作製とその振動特特性評価を行った。歪印可グラフェン振動子は、SU-8構造間に架橋されたグラフェンを形成、これを600℃でアニール処理することにより作製した。結果として、約7700の高Q値を有するグラフェン振動子の作製を達成した。SU-8熱収縮を利用した歪印可グラフェンの作製方法と振動特性について詳細に報告する。