アブソリュートエンコーダ

抄録

インクリメンタルエンコーダスケールの格子を多階調で記録する方式でアブソリュートエンコーダを実現した。また比較的粗い周期格子の投影パターンから高調波歪を除去する方式にて、取付容易性と高精度（内挿）を両立させた。本発表では、原理、構成概要、二次元化の実例、内挿精度測定例を紹介し、応用分野の提言を行う。